Vedúci:
Ing. Daniel Haško, PhD.,
Zameranie:
Diagnostika materiálov a progresívnych mikro- a nano-rozmerných prvkov.
Aktivity a vybrané aplikácie:
- Výskumné aktivity laboratória sú zamerané na základný výskum povrchov materiálov a progresívnych mikro- a nano-rozmerných prvkov metódami rastrovacej elektrónovej mikroskopie (SEM) a rastrovacej sondovej mikroskopie (SPM).
- Rastrovacia elektrónová mikroskopia s vysokým rozlíšením (až do 1 nm) je vhodná pre rôzne aplikácie orientované na skúmanie štruktúr na povrchu so sub-mikrometrovými rozmermi a prvkovú analýzu. Táto metóda sa využíva pri výskume a vývoji polovodičových štruktúr a prvkov, ako aj pri štúdiu nových zdokonalených materiálov s nanometrovými časticami.
- Rastrovacia sondová mikroskopia je využívaná na rôzne analýzy, ako napr:
- základná analýza povrchu a drsnosti vzorky metódami atómovej silovej mikroskopie
- výskum povrchov materiálov s vysokým rozlíšením až do atomárneho rozlíšenia metódou rastrovacej tunelovej mikroskopie pri atmosférickom tlaku vodivých vzoriek, prípadne tenkých nevodivých vrstiev alebo častíc na vodivých substrátoch
- meranie fyzikálnych vlastností napr. geometrických profilov, lokálneho trenia, adhézie, povrchovej vodivosti, rozloženie napätia, určenie elektrostatických síl, magnetických polí
- modifikácia materiálov nanomanipuláciami a nanolitografiou, nanometrológia
- výskum a kontrola vzoriek s veľkými rozmermi (s priemerom až 300 mm a hrúbkou 15 mm) pre polovodičové aplikácie, kontrola drsnosti kremíkových a iných dosiek, kontrola a charakterizácia porúch (dislokácií) v topografii vzoriek, lokálna kontrola vodivosti kontaktov, rozlíšenie rôznej úrovne dopácie polovodičov, kontrola čistoty povrchu vzoriek (zvyšky rezistu, leštiace pasty), identifikácia, meranie a trojdimenzionálna vizualizácia defektov ako napr. trhliny, jamy, ryhy, drážky a pod.
|
|
|