Vedúci:
RNDr. Milan Držík, CSc.
Zameranie:
Vývoj a aplikácia pokročilých optických metód založených na využití lasera a ďalších svetelných zdrojov pri diagnostike a mechanickej i termomechanickej charakterizácii mikroelektronických prvkov a mikro/nanoštruktúr.
Aktivity a vybrané aplikácie:
Výskumné aktivity laboratória sa týkajú testovania deformácie a rovinnosti povrchov a tenkých vrstiev, merania povrchovej textúry na mikro, resp. nanoúrovni pomocou skenujúcich i integrálnych optických princípov. Patrí sem aj detekcia mikroštrukturálnych zmien využitím analýzy štatistických vlastností speckle poľa pri koherentnom osvetlení. Pri návrhu a vývoji mikroelektromechanických systémov (MEMS) sa využíva diagnostika reziduálnej mechanickej napätosti a meranie mechanických parametrov multivrstvových systémov. Optické metódy založené na zobrazovaní v koherentnom svetle spolu s optoelektronickým snímaním signálu sa využívajú tiež v oblasti nanotechnológií na štúdium difúznych procesov systémov s nanočasticami.
|
|
|